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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Temperaturverhalten und Strukturbestimmung dünner Metalloxidschichten auf Siliziumoberflächen / Frank Schönbohm. Betreuer: Carsten Westphal. Gutachter: Wolfgang Rhode
Person(en) Schönbohm, Frank (Verfasser)
Westphal, Carsten (Akademischer Betreuer)
Rhode, Wolfgang (Gutachter)
Verlag Dortmund : Universitätsbibliothek Dortmund
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2014
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Dortmund, Technische Universität, 2013
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-201606283641
Handle: 2003/31800
URL http://hdl.handle.net/2003/31800 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Oxidschicht* ; Elektron* ; Strukturaufklärung* ; Photoelektronenspektroskopie* ; Photoelektron* ; Photon* ; Hafnium* ; Energie* ; Zirkoniumdioxid* ; Temperaturverhalten* (*maschinell ermittelt)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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