Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/956573568 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern / Martin Dauelsberg |
| Person(en) | Dauelsberg, Martin (Verfasser) |
| Ausgabe | Als Ms. gedr. |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1999 |
| Umfang/Format | V, 187 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8265-6213-6 kart. : DM 94.00, sfr 94.00, S 659.00 3-8265-6213-5 kart. : DM 94.00, sfr 94.00, S 659.00 |
| Beziehungen | Berichte aus der Halbleitertechnik |
| Schlagwörter | Drei-Fünf-Halbleiter ; MOCVD-Verfahren ; Chemischer Reaktor ; Prozessoptimierung |
| Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik ; 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2000 A 71796
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2000 A 71796
Bereitstellung in Leipzig |
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