Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1274033446 |
Titel | Impact of AlN Seed Layer on Microstructure and Piezoelectric Properties of Y x Al 1− x N (x = 15%) Thin Films |
Person(en) |
Pandit, Shardul (Verfasser) Schneider, Michael (Verfasser) Berger, Claudio (Verfasser) Schwarz, Sabine (Verfasser) Schmid, Ulrich (Verfasser) |
Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2022112814325953001664 DOI: 10.1002/aelm.202200789 |
URL | https://doi.org/10.1002/aelm.202200789 |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 28.11.2022 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Beziehungen | Enthalten in: Advanced electronic materials (28.11.2022. 8 S.) |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
