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Artikel
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1274033446
Titel Impact of AlN Seed Layer on Microstructure and Piezoelectric Properties of Y x Al 1− x N (x  = 15%) Thin Films
Person(en) Pandit, Shardul (Verfasser)
Schneider, Michael (Verfasser)
Berger, Claudio (Verfasser)
Schwarz, Sabine (Verfasser)
Schmid, Ulrich (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2022112814325953001664
DOI: 10.1002/aelm.202200789
URL https://doi.org/10.1002/aelm.202200789
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 28.11.2022
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced electronic materials (28.11.2022. 8 S.)

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