Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/128003470X |
| Titel | A snapshot review on metal–semiconductor contact exploration for 7-nm CMOS technology and beyond / by Hao Yu, Marc Schaekers, Jean-Luc Everaert, Naoto Horiguchi, Kristin De Meyer, Nadine Collaert |
| Person(en) |
Yu, Hao (Verfasser) Schaekers, Marc (Verfasser) Everaert, Jean-Luc (Verfasser) Horiguchi, Naoto (Verfasser) Meyer, Kristin De (Verfasser) Collaert, Nadine (Verfasser) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
| Umfang/Format | Online-Ressource : online resource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2023020321104905634558 DOI: 10.1557/s43580-022-00404-1 |
| URL | https://doi.org/10.1557/s43580-022-00404-1 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2022 |
| DDC-Notation | 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: MRS advances (21.11.2022: 1-11) |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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