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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1240766300
Titel Process Variability in Top-Down Fabrication of Silicon Nanowire-Based Biosensor Arrays / Marcel Tintelott, Vivek Pachauri, Sven Ingebrandt, Xuan Thang Vu
Person(en) Tintelott, Marcel (Verfasser)
Pachauri, Vivek (Verfasser)
Ingebrandt, Sven (Verfasser)
Vu, Xuan Thang (Verfasser)
Verlag Aachen : Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2021
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021090807545258230033
DOI: 10.18154/RWTH-2021-08032
URL https://publications.rwth-aachen.de/record/825084 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: 10.3390/s21155153
DDC-Notation 681.7 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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