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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1026099048 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Untersuchung der Degradation von elektrisch gestresstem nano-porösem ultra low-k Dielektrikum vor dem elektrischen Durchschlag / Taro Breuer |
| Person(en) | Breuer, Taro (Verfasser) |
| Verlag | Münster : Verl.-Haus Monsenstein und Vannerdat |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | 233 S. : Ill., graph. Darst. ; 22 cm, 300 g |
| Hochschulschrift | Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2012 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-86991-674-3 Pp. : EUR 20.00 (DE), EUR 20.60 (AT) 3-86991-674-5 |
| EAN | 9783869916743 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | MV-Wissenschaft |
| Schlagwörter | Chip ; Miniaturisierung ; Low-k-Dielektrikum ; Nanoporöser Stoff ; Degradation <Technik> ; Werkstoffprüfung ; Leckstrom ; Elektrischer Durchschlag ; Durchschlagspannung ; Elektrische Messtechnik |
| DDC-Notation | 621.381548 [DDC22ger]; 620.11623 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen |
Inhaltsverzeichnis Inhaltstext |
| Frankfurt |
Signatur: 2012 A 78681
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2012 A 93228
Bereitstellung in Leipzig |
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