Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1006898824 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen. : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle / Ronald Hellriegel |
| Person(en) | Hellriegel, Ronald (Verfasser) |
| Ausgabe | [Online-Ausg.] |
| Sekundärausgabe | Online-Ausg.: [Dresden] : [Sächsische Landesbibliothek], 2009. Online-Ressource |
| Verlag | Norderstedt : Books on Demand GmbH |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
| Umfang/Format | VI, 123 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 206 gr. (PDF) |
| Hochschulschrift | Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2009 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:14-ds-1245418105568-70747 |
| URL | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-ds-1245418105568-70747 (kostenfrei zugänglich) |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8391-0693-8 978-3-839-10693-8 (falsch) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Aufdampfen ; Titannitrid ; Vakuumkammer ; Ablagerung ; Reinigung ; Plasmaätzen |
| DDC-Notation | 671.735028 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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