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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/102076029X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Mikromechanik und Aufbautechnik zur Realisierung eines MEMS Aktuators für Festplattenspeicher-Schreib-Leseköpfe / Willyanto Kurniawan |
| Person(en) | Kurniawan, Willyanto (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | IX, 135 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 227 g |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Kurniawan, Willyanto: Mikromechanik und Aufbautechnik zur Realisierung eines MEMS Aktuators für Festplattenspeicher-Schreib/Leseköpfe |
| Hochschulschrift | Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2011 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-0935-4 kart. : EUR 48.80 (DE), EUR 48.80 (AT), sfr 97.60 (freier Pr.) |
| EAN | 9783844009354 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Mikrosystemtechnik |
| Schlagwörter | Schreib-Lese-Kopf ; MEMS ; Mikroaktor ; Silicium ; Einkristall ; Mikrofertigung ; Verbindungstechnik |
| DDC-Notation | 621.3976 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2012 A 48301 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2012 A 55935 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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