Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1282363360
Titel Advanced process control method for inline isolation implant monitoring in III–V GaAs semiconductor fabrication / by Sasha Kurkcuoglu, Shiban Tiku
Person(en) Kurkcuoglu, Sasha (Verfasser)
Tiku, Shiban (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2023030221135552059610
DOI: 10.1557/s43580-022-00458-1
URL https://doi.org/10.1557/s43580-022-00458-1
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2022
DDC-Notation 617.69 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: MRS advances (20.12.2022: 1-5)
Sachgruppe(n) 610 Medizin, Gesundheit

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