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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1228788804
Titel RF power transfer efficiency and plasma parameters of low pressure high power ICPs / David Zielke, Stefan Briefi, Ursel Fantz
Person(en) Zielke, David (Verfasser)
Briefi, Stefan (Verfasser)
Fantz, Ursel (Verfasser)
Verlag Augsburg : Universität Augsburg - IOP Publishing
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2021
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:384-opus4-840563
DOI: 10.1088/1361-6463/abd8ee
URL https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/84056 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Journal of Physics D: Applied Physics, 54, 15, S. 155202-
DDC-Notation 530.44 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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