Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Treffer 99505 von 406774
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1234989506 |
| Titel | Mikromechanischer Prozess zur Herstellung mehrlagiger 3D-MEMS (EPyC-Prozess) / Latifa Louriki ; Gutachter: Thomas Otto, Bernd Tillack ; Betreuer: Thomas Otto |
| Person(en) |
Louriki, Latifa (Verfasser) Otto, Thomas (Akademischer Betreuer) Otto, Thomas (Gutachter) Tillack, Bernd (Gutachter) |
| Verlag | Chemnitz : Technische Universität Chemnitz |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2021 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2021 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-746432 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter |
Mikrosystemtechnik ; MEMS ; Opferschicht ; Epitaxie Opferschicht* ; MEMS* ; Mikromechanik* ; Epitaxie* ; Mikrosystemtechnik* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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