Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: cod="rb"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1246363747 |
| Titel | High-performance deterministic in situ electron-beam lithography enabled by cathodoluminescence spectroscopy / Sven Rodt, Stephan Reitzenstein |
| Person(en) |
Rodt, Sven (Verfasser) Reitzenstein, Stephan (Verfasser) |
| Verlag | Berlin : Technische Universität Berlin |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2021 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2021112401041695019785 DOI: 10.14279/depositonce-12706 Handle: 11303/13932 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen | In: Nano Express (2:1) - Bristol : IOP Publishing - Art.-Id. 14007 |
| DDC-Notation | 537.6226 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |

