Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1380560241 |
| Titel | Advanced manufacturing techniques for amorphous silicon carbide (a-SiC:H): optimized deposition and etching processes for micro-optical element fabrication / Thomas Handte, Sebastian Bohm, Arne Behrens, Patrick Feßer, Julian Wüster, Marvin Henkel, Steffen Strehle, Erich Runge, Stefan Sinzinger |
| Person(en) |
Handte, Thomas (Verfasser) Bohm, Sebastian (Verfasser) Behrens, Arne (Verfasser) Feßer, Patrick (Verfasser) Wüster, Julian (Verfasser) Henkel, Marvin (Verfasser) Strehle, Steffen (Verfasser) Runge, Erich (Verfasser) Sinzinger, Stefan (Verfasser) |
| Verlag | Ilmenau : TU Ilmenau |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2024 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 21 Seiten (pdf) |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2511030206474.229176376310 DOI: 10.1364/OME.539439 |
| URL | https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00068093 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen |
In: Optical materials express(15), H. 1, S.74-94 - ISSN 2159-3930 In: Optica, Washington, DC |
| DDC-Notation | 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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