Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Modeling of metastable phase formation for sputtered Ti1−xAlxN and V1−xAlxN thin films / Sida Liu ; Jochen M. Schneider, Keke Chang
Person(en) Liu, Sida (Verfasser)
Schneider, Jochen M. (Akademischer Betreuer)
Chang, Keke (Akademischer Betreuer)
Verlag Aachen : Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2020
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Hochschulschrift Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2020
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021012907090379100634
DOI: 10.18154/RWTH-2020-09907
URL https://publications.rwth-aachen.de/record/803829 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Thin films* ; Modeling* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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