Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik / vorgelegt von Martin Lemberger
Person(en) Lemberger, Martin (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2010
Umfang/Format Online-Ressource (PDF)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Lemberger, Martin: Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik
Hochschulschrift Erlangen, Nürnberg, Diss., 2010
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus-16763
URL http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2010/1676/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Mikroelektronik ; Halbleitertechnologie ; MOCVD-Verfahren ; Ausgangsmaterial ; MIS ; High-k-Dielektrikum ; Halbleitergrenzfläche
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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