Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1076586686 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | PECVD Prozessüberwachung - wiederholbare Nutzung technischer Plasmen / Tobias Grotjahn |
| Person(en) | Grotjahn, Tobias (Verfasser) |
| Organisation(en) |
Fraunhofer IRB-Verlag (Verlag) Fraunhofer IWM, Freiburg/Brsg. (Sonstige) |
| Verlag | Stuttgart : Fraunhofer Verlag |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2015] |
| Umfang/Format | v, 89, XLII Seiten : Illustrationen, Diagramme ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Dissertation, Karlsruher Institut für Technologie, 2015 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8396-0904-0 Broschur : EUR 61.70 (AT), sfr 95.00 (freier Pr.), EUR 60.00 (DE) 3-8396-0904-6 |
| Bestellnummer(n) | fhg-iwm_13 |
| EAN | 9783839609040 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM: Fraunhofer-IWM-Forschungsberichte ; Bd. 6 |
| Schlagwörter | PECVD-Verfahren ; Beschichtungsanlage ; Prozessüberwachung ; Plasmadiagnostik |
| DDC-Notation | 671.735 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen |
Inhaltsverzeichnis Inhaltstext |
| Frankfurt |
Signatur: 2016 A 7219
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2016 A 9722
Bereitstellung in Leipzig |
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