Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1223452166 |
| Titel | Using Grazing Incidence Small-Angle X-Ray Scattering (GISAXS) for Semiconductor Nanometrology and Defect Quantification / Mika Pflüger |
| Person(en) | Pflüger, Mika (Verfasser) |
| Verlag | Berlin : Humboldt-Universität zu Berlin |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2020 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Berlin, Humboldt-Universität zu Berlin, 2020 |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:kobv:11-110-18452/22863-8 DOI: 10.18452/22207 |
| URL | http://edoc.hu-berlin.de/18452/22863 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Small-angle x-ray scattering* ; Grazing incidence* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 537.622 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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