Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: hss all "diss*"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/120321197X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Resolution enhancement in mask aligner photolithography / Andreas Vetter ; Betreuer: C. Rockstuhl |
| Person(en) |
Vetter, Andreas (Verfasser) Rockstuhl, C. (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Karlsruhe : KIT-Bibliothek |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2020 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Karlsruhe, Karlsruher Institut für Technologie (KIT), 2019 |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2020012204013658112150 DOI: 10.5445/IR/1000104490 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Photolithography* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 621.38153 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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