Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten

Leichte Bedienung, intuitive Suche: Die Betaversion unseres neuen Katalogs ist online! → Zur Betaversion des neuen DNB-Katalogs

 
Neuigkeiten Der Multimedia-Zeitschriftenlesesaal und der Kartenlesesaal in Leipzig sind vom 30.10. bis 03.11. geschlossen. // The multimedia/periodical reading room and the map reading room in Leipzig are closed from 30.10 to 03.11.
 
Neuigkeiten Leipzig: Freitag, 31. Oktober 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums sind von 10 bis 18 Uhr geöffnet. // Friday, 31 October 2025: The German National Library in Leipzig will be closed. The exhibitions of the German Museum of Books and Writing will open from 10:00 to 18:00.
 
 

Ergebnis der Suche nach: "{{{1}}}"

Zurück zur Trefferliste


Treffer 99924 von 147317 < < > <



Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/999039717
Titel Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle / Ronald Hellriegel
Person(en) Hellriegel, Ronald (Verfasser)
Verlag Norderstedt : Books on Demand
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Hellriegel, Ronald: Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen
Hochschulschrift Zugl.: Diss., TU Dresden
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-20091213359
URL http://www.bod.de/index.php?id=296&objk_id=221762 (Verlag)
ISBN/Einband/Preis 978-3-8391-0693-8
EAN 9783839106938
Anmerkungen Lizenzpflichtig. - Vom Verlag als Druckwerk on demand angeboten
Schlagwörter Aufdampfen ; Titannitrid ; Vakuumkammer ; Ablagerung ; Reinigung ; Plasmaätzen
DDC-Notation 671.735028 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

Online-Zugriff Archivobjekt öffnen




Treffer 99924 von 147317
< < > <




Aktionen

Aktionen


E-Mail-IconKorrekturanfrage


E-Mail-IconAdministration