Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1197076573 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Grundlagen fuer die roentgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlaengen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter / Boris Anderer, W. Ehrfeld, J. Mohr |
| Person(en) |
Anderer, Boris (Verfasser) Ehrfeld, Wolfgang (Verfasser) Mohr, Jürgen (Verfasser) |
| Verlag | Karlsruhe : KIT-Bibliothek |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2018 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter |
| Hochschulschrift | Dissertation, Karlsruhe, Universität Karlsruhe, 1989, Dissertation von Boris Anderer |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2019101511074787779641 DOI: 10.5445/IR/92089 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | KFK-4702 |
| Schlagwörter | Demultiplexer* ; Reflexion <Physik>* ; Photoresist* ; Wellenlänge* ; Beugungsgitter* (*maschinell ermittelt) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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