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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1153421992 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Investigation of industrially-suited processes for deposition of oxide thin films by high power impulse magnetron sputtering / von Felipe de Campos Carreri |
| Person(en) | Campos Carreri, Felipe de (Verfasser) |
| Organisation(en) |
Fraunhofer IRB-Verlag (Verlag) Fraunhofer IST (Herausgebendes Organ) |
| Verlag | Stuttgart : Fraunhofer Verlag |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2018] |
| Umfang/Format | XV, 196 Seiten : Illustrationen ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2017 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8396-1287-3 Broschur : EUR 54.00 (DE), EUR 55.60 (AT), CHF 90.80 (freier Preis) 3-8396-1287-X |
| Bestellnummer(n) | Bestellnummer: fhg-ist_53 |
| EAN | 9783839612873 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik: Berichte aus Forschung und Entwicklung ; Nr. 043 |
| Schlagwörter | Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern ; Dünne Schicht ; Oxidschicht ; Isolierschicht ; Aluminiumoxide ; Transparent-leitendes Oxid ; Indiumoxide ; Zinnoxide ; Zinkoxid ; Prozessführung <Technik> |
| DDC-Notation | 671.735 [DDC23ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 660 Technische Chemie |
| Weiterführende Informationen |
Inhaltstext Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2018 A 41141
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2018 A 41746
Bereitstellung in Leipzig |
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