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Sachbegriffe 591 MEMS
Mikrosystemtechnik
Sachbegriffe 592 Mikroaktor
Aktor
Sachbegriffe 593 Mikrosystemtechnik
Feinwerktechnik
Sachbegriffe 594 Schraubenmaschine
Arbeitsmaschine
Sachbegriffe 595 Verteiltes Messsystem
Messsystem


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