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Kohärente Anti-Stokes-Raman-Streuung an Kohlenwasserstoffen in mikrowellenangeregten Prozeßplasmen
Hädrich, Sven, 1997
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Lichtstreu- und Sonden-Diagnostik an einer HF-Entladung in Helium
Kahnert, Wolfgang, 1997
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Transportdaten zur Modellierung von plasmathermischen Verfahren zur Behandlung halogenhaltiger Sonderabfälle
Bollmann, Hanfried. - Aachen : Shaker, 1997, Als Ms. gedr.
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Untersuchung von dichten Argon-Plasmen in einer einfachen Kapillarentladung
Hildebrand, Andreas, 1997
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Untersuchungen der optischen Plasma-Emission beim reaktiven Magnetronsputtern und ihre Anwendung bei der Schichtbildung
Kirchhoff, Volker, 1997
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Untersuchungen zur Kinetik der Ladungsträger in zylindrischen Magnetron-Entladungen
Passoth, Elke, 1997
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Untersuchungen zur Plasma-Wand-Wechselwirkung am System TiNx auf Si
Eggs, Christoph, 1997
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Analyse der Energie- und Teilchenströme bei der ZnO:AI-Abscheidung mittels Magnetron-Sputterns für die Herstellung von Dünnschichtsolarzellen
Wendt, Ralf, 1996
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Charakterisierung eines ECWR-Plasmas in Silan und dessen Anwendung zur Abscheidung von nc-Si:H-Schichten
Scheib, Michael, 1996
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Diagnostische und analytische Messungen am kapazitiv gekoppelten Mikrowellenplasma (CMP) unter Verwendung verschiedener Arbeitsgase
Bings, Nicolas-Hubert, 1996
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Administration
