Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Der Multimedia-Zeitschriftenlesesaal und der Kartenlesesaal in Leipzig sind vom 30.10. bis 03.11. geschlossen. // The multimedia/periodical reading room and the map reading room in Leipzig are closed from 30.10 to 03.11.
 
Neuigkeiten Leipzig: Freitag, 31. Oktober 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums sind von 10 bis 18 Uhr geöffnet. // Friday, 31 October 2025: The German National Library in Leipzig will be closed. The exhibitions of the German Museum of Books and Writing will open from 10:00 to 18:00.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Neuartige Methoden diffraktiver Mask Aligner Lithografie zur flexiblen Erzeugung mikrooptischer Strukturen / Tina Weichelt ; Gutachter: Andreas Tünnermann, Hartmut Bartelt, Norbert Lindlein
Person(en) Weichelt, Tina (Verfasser)
Tünnermann, Andreas (Gutachter)
Bartelt, Hartmut (Gutachter)
Lindlein, Norbert (Gutachter)
Verlag Jena : Friedrich-Schiller-Universität Jena
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2019
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Jena, Friedrich-Schiller-Universität Jena, 2019
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:27-dbt-20190909-160725-008
DOI: 10.22032/dbt.39357
URL https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00039357 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Lithografie <Halbleitertechnologie>* ; Herstellung* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 621.38153 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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