Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: tit all "3D monolithic integration."
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1325631205 |
Titel | Formation techniques for upper active channel in monolithic 3D integration: an overview / by An Hoang-Thuy Nguyen, Manh-Cuong Nguyen, Anh-Duy Nguyen, Seung Joon Jeon, Noh-Hwal Park, Jeong-Hwan Lee, Rino Choi |
Person(en) |
Nguyen, An Hoang-Thuy (Verfasser) Nguyen, Manh-Cuong (Verfasser) Nguyen, Anh-Duy (Verfasser) Jeon, Seung Joon (Verfasser) Park, Noh-Hwal (Verfasser) Lee, Jeong-Hwan (Verfasser) Choi, Rino (Verfasser) |
Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
Umfang/Format | 1 Online-Ressource. |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2024040912165089884036 DOI: 10.1186/s40580-023-00411-4 |
URL | https://doi.org/10.1186/s40580-023-00411-4 |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2024 |
DDC-Notation | 621.381 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Beziehungen | Enthalten in: Nano Convergence (Bd. 11, 29.1.2024, Nr. 1, date:12.2024: 1-15) |
Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
