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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Polykristalline Halbleiter und Niedertemperatur-Dielektrika zur Herstellung von Dünnschichttransistoren für flache Flüssigkristall-Bildschirme / vorgelegt von Markus Dobler
Person(en) Dobler, Markus (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1994
Umfang/Format 218 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Stuttgart, Univ., Diss., 1995
Schlagwörter Dünnschichttransistor ; Cadmiumselenid ; Polykristall ; CVD-Verfahren ; Flüssigkristallanzeige ; Flacher Bildschirm
Silicium ; ECR-Beschichten ; Prozessoptimierung
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik ; 29 Physik, Astronomie
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 1995 A 8663
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 1995 A 8663
Bereitstellung in Leipzig




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