Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1009852701 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Nickelhaltige Kohlenwasserstoff-Funktionsschichten (Ni:a-C:H) für Drucksensoren / Ralf Koppert |
| Person(en) | Koppert, Ralf (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
| Umfang/Format | XXII, 192 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 324 g |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Koppert, Ralf: Nickelhaltige Kohlenwasserstoff-Funktionsschichten (Ni:a-C:H) für Drucksensoren |
| Hochschulschrift | Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2010 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-9708-4 kart. : EUR 49.80 (DE), EUR 49.80 (AT), sfr 99.60 (freier Pr.) |
| EAN | 9783832297084 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 12 |
| Schlagwörter | Drucksensor ; Dünne Schicht ; Diamantähnlicher Kohlenstoff ; Wasserstoff ; Nickel ; Sputtern |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2011 A 16055 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2011 A 17925 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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