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Ergebnis der Suche nach: "Machine Learning"



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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1301105686
Titel Semiconductor Multilayer Nanometrology with Machine Learning / by Hyunsoo Kwak, Jungwon Kim
Person(en) Kwak, Hyunsoo (Verfasser)
Kim, Jungwon (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource, 1 online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2023090608435048000180
DOI: 10.1007/s41871-023-00193-7
URL https://doi.org/10.1007/s41871-023-00193-7
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2023
DDC-Notation 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Nanomanufacturing and metrology (Bd. 6, 4.5.2023, Nr. 1, date:12.2023: 1-18)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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