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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1079593187
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting
Person(en) Zhang, Xiao-Sheng (Verfasser)
Organisation(en) Springer-Verlag GmbH (Verlag)
Ausgabe 1st ed. 2016
Verlag Tokyo : Springer Japan
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2016
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Micro-nano integrated fabrication technology and its applications in microenergy harvesting
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:1111-20151202273
DOI: 10.1007/978-3-662-48816-4
URL https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-662-48816-4 (Verlag)
ISBN/Einband/Preis 978-3-662-48816-4
EAN 9783662488164
Beziehungen Springer Theses
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter Silicium ; Polydimethylsiloxan ; Parylene ; Nanotechnologie ; Mikrosystemtechnik
Energy Harvesting ; Nanotechnologie ; Mikrosystemtechnik
DDC-Notation 620.5 [DDC22ger]; 621.042 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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