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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Charakterisierung einer PECVD-Anlage : die mittlere Ionenenergie als neues Kriterium zur Einteilung in Remote- und direkte Plasmen / von Matthias Schiller
Person(en) Schiller, Matthias (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1997
Umfang/Format III, 116 S. : graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Kassel, Univ., Diss., 1997
Schlagwörter PECVD-Verfahren ; Plasmadiagnostik
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 1997 A 8530
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 1997 A 8530
Bereitstellung in Leipzig




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