Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: tit all "3D monolithic integration."
Treffer 12 von 18
|
|
| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1257595555 |
| Titel | High thermal stability of doped oxide semiconductor for monolithic 3D integration / by Hiroki Kawai, Junji Kataoka, Nobuyoshi Saito, Tomomasa Ueda, Takamitsu Ishihara, Keiji Ikeda |
| Person(en) |
Kawai, Hiroki (Verfasser) Kataoka, Junji (Verfasser) Saito, Nobuyoshi (Verfasser) Ueda, Tomomasa (Verfasser) Ishihara, Takamitsu (Verfasser) Ikeda, Keiji (Verfasser) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
| Umfang/Format | Online-Ressource : online resource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2022051509064466223920 DOI: 10.1557/s43577-021-00230-0 |
| URL | https://doi.org/10.1557/s43577-021-00230-0 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2021 |
| DDC-Notation | 537.6226 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Materials Research Society: MRS bulletin (Bd. 46, 11.1.2022, Nr. 11, date:11.2021: 1044-1052) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
Treffer 12 von 18
Administration
