Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/990326403 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Untersuchungen zum Cross-Magnetron-Effekt bei der reaktiven Indium-Zinnoxid-Abscheidung : Auswirkungen einer inhomogenen Plasmaverteilung auf die Schichteigenschaften bei dynamischer und statischer Beschichtung mittels gepulstem Dual-Magnetron / vorgelegt von Ronny Kleinhempel |
| Person(en) | Kleinhempel, Ronny (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 3,4 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Kleinhempel, Ronny: Untersuchungen zum Cross-Magnetron-Effekt bei der reaktiven Indium-Zinnoxid-Abscheidung |
| Hochschulschrift | Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-200800783 |
| URL |
http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2008/0078/data/Dissertation_RKleinhempel.PDF (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2008/0078 (Verlag) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Magnetronsputtern ; Transparent-leitendes Oxid |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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