Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1051572630 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | EUV-Emission und Entladungsdynamik eines Zinnplasmas in einer laserinduzierten Hochstromentladung für die Lithografie / Felix Alexander Küpper |
Person(en) | Küpper, Felix Alexander (Verfasser) |
Ausgabe | 1. Aufl. |
Verlag | Aachen : Shaker |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2014 |
Umfang/Format | Online-Ressource : 70 Ill. (pdf) |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Küpper, Felix Alexander: EUV-Emission und Entladungsdynamik eines Zinnplasmas in einer laserinduzierten Hochstromentladung für die Lithografie |
Hochschulschrift | Zugl.: RWTH Aachen University, Diss., 2014 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2014052510137 |
ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-2781-5 |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Beziehungen | Berichte aus der Physik |
Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
Schlagwörter | Zinn ; Lasererzeugtes Plasma ; Strahler ; Extremes Ultraviolett |
DDC-Notation | 530.446 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
