Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/973318694 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Analytik von Kontaminationen auf Siliciumoberflächen : Möglichkeiten und Grenzen des VPD-Verfahrens / von Steffen Metz |
| Person(en) | Metz, Steffen (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2004 |
| Umfang/Format | 1 CD-ROM ; 12 cm + Beil. ([1] Bl.) |
| Hochschulschrift | Frankfurt (Main), Univ., Diss., 2004 |
| Anmerkungen | Titel auf der Beil. |
| Schlagwörter | Silicium ; Oberfläche ; Kontamination ; Fluorwasserstoff ; Ätzen ; CD-ROM |
| Sachgruppe(n) | 540 Chemie |
| Frankfurt |
Signatur: 2005 CRA 868
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2005 CRA 198
Bereitstellung in Leipzig |
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