Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
Neuigkeiten Vom 10. September 2025, 13 Uhr, bis 11. September 2025, 22 Uhr, kann es zu Einschränkungen bei der Bereitstellung von Medienwerken kommen. Wir informieren Sie per E-Mail über den aktuellen Stand Ihrer Bestellungen. // From 13:00 on 10 September 2025 until 22:00 on 11 September 2025, there may be restrictions on the provision of media works. We will inform you by email about the current status of your orders.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung / Thomas Schafbauer
Person(en) Schafbauer, Thomas (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2001
Umfang/Format ca. 4,1 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schafbauer, Thomas: Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung
Hochschulschrift München, Techn. Univ., Diss., 2001
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:91-diss2001040215442
URL http://tumb1.biblio.tu-muenchen.de/publ/diss/ei/2001/schafbauer.pdf
Schlagwörter Rapid thermal processing ; Halbleitertechnologie ; Siliciumbauelement ; Prozessregelung ; Prozessoptimierung ; Online-Publikation
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik

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