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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Untersuchungen zur Plasma-Wand-Wechselwirkung am System TiNx auf Si / vorgelegt von Christoph Eggs
Person(en) Eggs, Christoph (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1997
Umfang/Format 82 Bl. : graph. Darst. ; 30 cm
Hochschulschrift Greifswald, Univ., Diss., 1997
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Silicium ; Wafer ; Titannitrid ; Sputtern ; Plasma-Wand-Wechselwirkung ; Plasmadiagnostik
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 1997 B 4834
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 1997 B 4834
Bereitstellung in Leipzig




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