Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1201297362 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen / Jens Hoche |
| Person(en) | Hoche, Jens (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2000 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 159 Seiten (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2019120910402754105323 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8265-7413-9 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; 5 |
| Schlagwörter |
Mikromechanik ; Siliciumbauelement ; Trockenätzen ; Fotolithografie <Halbleitertechnologie> ; Prozessoptimierung Mikromechanik ; Siliciumbauelement ; Plasmaätzen ; Fotolithografie <Halbleitertechnologie> ; Prozessoptimierung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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