Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1371630445 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Characterisation of the reactive species of an RF-excited broad beam ion source and their influence on the etching behaviour of optical relevant materials / vorgelegt von M. Sc. Erik Rohkamm |
| Person(en) | Rohkamm, Erik (Verfasser) |
| Organisation(en) | Universität Leipzig (Grad-verleihende Institution) |
| Verlag | Leipzig |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2025 |
| Umfang/Format | XXV, 120, XLIII Seiten : Illustrationen |
| Hochschulschrift | Dissertation, Universität Leipzig, 2025 |
| ISBN/Einband/Preis | Festeinband |
| Sprache(n) | Englisch (eng), Originalsprache(n): Deutsch (ger) |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2025 B 24426
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig | Publikation im Haus und in Bearbeitung |
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