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Bücher
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/997910267
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Erzeugung mikro- und nanodimensionaler Strukturen in Resist- und Halbleitermaterialien mittels Protonenstrahlschreiben / vorgelegt von Frank Menzel
Person(en) Menzel, Frank (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format 217 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Hochschulschrift Leipzig, Univ., Diss., 2009
Sprache(n) Deutsch (ger)
DDC-Notation 530.411 [DDC22ger]; 537.56 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

Frankfurt Signatur: 2009 B 22480
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2009 B 37835
Bereitstellung in Leipzig




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