Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1166511251 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Modellbildung auf Geometrie- und Systemebene für Squeeze-Film-Dämpfung und Wärmeverlust in mikromechanischen Sensoren unter Berücksichtigung ausgedünnter Gase / Felix Petri |
| Person(en) | Petri, Felix (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Auflage |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 139 Seiten : 4 Illustrationen, 52 Illustrationen (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Petri, Felix: Modellbildung auf Geometrie- und Systemebene für Squeeze-Film-Dämpfung und Wärmeverlust in mikromechanischen Sensoren unter Berücksichtigung ausgedünnter Gase |
| Hochschulschrift | Dissertation, Universität Bremen, 2006 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2018090906445736562112 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-6354-6 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Mikromechanik |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter |
Drehratensensor ; Vakuumsensor ; MEMS ; Quetschströmung ; Mathematisches Modell Heißdrahtverfahren ; Sensor ; MEMS ; Vakuum ; Wärmeübertragung ; Mathematisches Modell |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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