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Link zu diesem Datensatz
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https://d-nb.info/1000504948
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Art des Inhalts
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Hochschulschrift
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Titel
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Metallorganische Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) ferroelektrischer Dünnschichten: Herstellung und Charakterisierung / Jochen Puchalla. Forschungszentrum Jülich GmbH, Institut für Festkörperforschung (IFF), Elektronische Materialien (IFF-6). [Hrsg.: Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek]
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Person(en)
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Puchalla, Jochen (Verfasser)
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Ausgabe
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[Online-Ausg.]
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Sekundärausgabe
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Online-Ausg.: [Aachen] : [Bibliothek der Techn. Hochsch.], 2007. 164 S.
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Verlag
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Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek
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Zeitliche Einordnung
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Erscheinungsdatum: 2007
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Umfang/Format
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Online-Ressource : Ill., graph. Darst. ; 24 cm (PDF)
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Andere Ausgabe(n)
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Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Puchalla, Jochen: Metallorganische Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) ferroelektrischer Dünnschichten: Herstellung und Charakterisierung
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Hochschulschrift
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Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007
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Persistent Identifier
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URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-20401
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URL
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http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2007/2040/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
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ISBN/Einband/Preis
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978-3-89336-492-3
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Sprache(n)
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Deutsch (ger)
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Beziehungen
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Forschungszentrum Jülich: Schriften des Forschungszentrums Jülich / Reihe Informationstechnik ; Bd. 17
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Schlagwörter
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MOCVD-Verfahren ; FRAM <Informatik>
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DDC-Notation
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530.4175 [DDC22ger]; 537.2448 [DDC22ger]
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Sachgruppe(n)
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530 Physik
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