Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/98493538X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Untersuchung von Ausheilverfahren für Aluminium-implantierte Schichten in 4H-Siliciumcarbid / vorgelegt von Martin Rambach |
| Person(en) | Rambach, Martin (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 3,0 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Rambach, Martin: Untersuchung von Ausheilverfahren für Aluminium-implantierte Schichten in 4H-Siliciumcarbid |
| Hochschulschrift | Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus-6532 |
| URL |
http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2007/653/pdf/MartinRambachDissertation.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2007/653/index.html (Verlag) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Siliciumcarbid ; Ausheilung ; Dotierung ; Implantation ; Aluminium ; Halbleiteroberfläche |
| DDC-Notation | 530.411 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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