Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Treffer 1355 von 1587
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1115605178 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Reaktor- und Prozessoptimierung bei der Metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern / Martin Dauelsberg |
| Person(en) | Dauelsberg, Martin (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1999 |
| Umfang/Format | Online-Ressource : 78 Abb. (pdf) |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-201610091410 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8265-6213-6 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Halbleitertechnik |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | Drei-Fünf-Halbleiter ; MOCVD-Verfahren ; Chemischer Reaktor ; Prozessoptimierung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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