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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/968307272 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Stress and microstructure of sputter deposited thin copper and niobium films / Max-Planck-Institut für Metallforschung Stuttgart ... Vorgelegt von Brando Chidi Okolo |
Person(en) | Okolo, Brando Chidi (Verfasser) |
Verlag | Stuttgart : Max-Planck-Inst. für Metallforschung |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2003 |
Umfang/Format | ca. 11,6 MB |
Hochschulschrift | Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2003 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-14135 |
URL |
http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2003/1413/pdf/OkoloBrando.pdf (Verlag) http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2003/1413/index.html (Verlag) |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Beziehungen | Max-Planck-Institut für Metallforschung: Bericht ; Nr. 132 |
Schlagwörter | Metallschicht ; Sputtern ; Mechanische Spannung ; Texturanalyse ; Röntgenbeugung ; Online-Publikation |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
