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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Stress and microstructure of sputter deposited thin copper and niobium films / Max-Planck-Institut für Metallforschung Stuttgart ... Vorgelegt von Brando Chidi Okolo
Person(en) Okolo, Brando Chidi (Verfasser)
Verlag Stuttgart : Max-Planck-Inst. für Metallforschung
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2003
Umfang/Format ca. 11,6 MB
Hochschulschrift Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2003
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-14135
URL http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2003/1413/pdf/OkoloBrando.pdf (Verlag)
http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2003/1413/index.html (Verlag)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Max-Planck-Institut für Metallforschung: Bericht ; Nr. 132
Schlagwörter Metallschicht ; Sputtern ; Mechanische Spannung ; Texturanalyse ; Röntgenbeugung ; Online-Publikation
Sachgruppe(n) 530 Physik

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