Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1283736985 |
| Titel | Aktuelle Entwicklungen in der Züchtungstechnologie von CZ‐Si‐Kristallen : Größere und perfektere Si‐Kristalle als Herausforderung an die Prozess‐ und Anlagen‐Technologie |
| Person(en) |
Altekrüger, Burkhard (Verfasser) Fisahn, Gert (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2023031806073671640930 DOI: 10.1002/vipr.201100454 |
| URL | https://doi.org/10.1002/vipr.201100454 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 28.03.2011 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Vakuum in Forschung und Praxis (Bd. 23, 2011, Nr. 2: 6-10. 5 S.) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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