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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1322293864
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Modeling and Verification of 4H-SiC Trench MOS Integration using Trench-First-Technology / Minwho Lim ; Gutachter: ,. Tobias Erlbacher; Robert Weigel ; Betreuer: ,. Tobias Erlbacher
Person(en) Lim, Minwho (Verfasser)
Erlbacher, ,. Tobias (Akademischer Betreuer)
Erlbacher, ,. Tobias (Gutachter)
Weigel, Robert (Gutachter)
Verlag Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2023
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2023
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2024030202332646698974
DOI: 10.25593/open-fau-64
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Siliciumcarbid* ; Silicium* ; Ionenimplantation* ; MOS-FET* ; MOS* ; Halbleitertechnologie* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 621.381528 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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