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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Eine Nanopositioniervorrichtung mit integrierten piezoresistiven Sensoren für Hochgeschwindigkeits-Rastersondenmikroskopie-Anwendungen / Elshad Guliyev. Gutachter: Eberhard Manske ; Norbert Lenk. Betreuer: Ivo W. Rangelow
Person(en) Guliyev, Elshad (Verfasser)
Rangelow, Ivo W. (Akademischer Betreuer)
Manske, Eberhard (Akademischer Betreuer)
Lenk, Norbert (Akademischer Betreuer)
Verlag Ilmenau : Universitätsbibliothek Ilmenau
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2013
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2011
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011000543
URL http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=20724 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Positionierantrieb ; Nanometerbereich ; Integrierter Sensor ; Piezowiderstandseffekt ; Rastersondenmikroskopie ; Zeitauflösung ; Hochgeschwindigkeit
DDC-Notation 681.2 [DDC22ger]; 681.413 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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