Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
Neuigkeiten Vom 10. September 2025, 13 Uhr, bis 11. September 2025, 22 Uhr, kann es zu Einschränkungen bei der Bereitstellung von Medienwerken kommen. Wir informieren Sie per E-Mail über den aktuellen Stand Ihrer Bestellungen. // From 13:00 on 10 September 2025 until 22:00 on 11 September 2025, there may be restrictions on the provision of media works. We will inform you by email about the current status of your orders.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner / Joachim Fritz
Person(en) Fritz, Joachim (Verfasser)
Ausgabe 1. Aufl.
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2012
Umfang/Format Online-Ressource : 77 Ill. (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner
Hochschulschrift Zugl.: Universität des Saarlandes, Saarbrücken, Diss., 2012
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-201503296390
ISBN/Einband/Preis 978-3-8440-0828-9
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS ; 21
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter MEMS ; Mikrooptik ; Scanner ; Mikroaktor ; Kammantrieb ; Drehmomentregelung ; SOI-Technik ; Geräteentwicklung ; Herstellung
DDC-Notation 621.381045 [DDC22ger]; 681.41 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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