Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/98429855X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Technologien und Applikationen der UV-Tiefenlithographie: Mikroaktorik, Mikrosensorik und Mikrofluidik / Marco Feldmann |
| Person(en) | Feldmann, Marco (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | II, 182, 33 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 335 gr. |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Feldmann, Marco: Technologien und Applikationen der UV-Tiefenlithographie: Mikroaktorik, Mikrosensorik und Mikrofluidik |
| Hochschulschrift | Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2007 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8322-6146-7 kart. : EUR 49.80 (DE), EUR 49.80 (AT), sfr 99.60 3-8322-6146-X kart. : EUR 49.80 (DE), EUR 49.80 (AT), sfr 99.60 |
| EAN | 9783832261467 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; Bd. 20 |
| Schlagwörter |
LIGA-Verfahren ; Photoresist ; Ultraviolett Mikroaktor ; Herstellung ; LIGA-Verfahren Mikrosensor ; Herstellung ; LIGA-Verfahren Mikrofluidik ; Gerätebau ; LIGA-Verfahren |
| DDC-Notation | 681 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2007 A 39631 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2007 A 48403 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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