Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Treffer 1532 von 1587
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/102134544X |
| Titel | Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren |
| Person(en) | Olbrich, Walter (Verfasser) |
| Verlag | Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1994 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:1111-201204031508 DOI: 10.1007/978-3-642-47892-5 |
| URL | https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-642-47892-5 (Verlag) |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-642-47892-5 |
| EAN | 9783642478925 |
| Beziehungen | IPA-IAO Forschung und Praxis |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | PVD-Verfahren ; Prozessoptimierung ; Ionenbestrahlung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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